证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现华海清科（688120）新取得一项发明专利授权，专利名为“化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的使用”，专利申请号为CN0.2，授权日为2025年3月14日。
专利摘要：本发明归于芯片制作技术领域，具体触及化学机械抛光组合物及其在化学机械抛光中的使用。本发明所述纳米复合磨料是化学机械抛光组合物的组成部分，其包含少层石墨包覆的纳米级Al2O3磨料，纳米复合磨猜中C元素的质量分数不高于10wt.%。本发明选用两步煅烧法制备出的少层石墨包覆的纳米级Al2O3磨料，经过在磨料界面引进石墨层间范德华力，成功替代Al2O3颗粒间的共价化学键，在不参加涣散剂和硅烷偶联剂的条件下，也可完成磨料在抛光液中的均匀涣散，下降抛光液的出产所带来的本钱，而且本发明中磨料的均匀涣散优势不会随抛光液pH值的改变而下降，均匀涣散的磨料颗粒在抛光过程中可以更有效地与晶圆外表触摸，进步粗抛功率。
今年以来华海清科新取得专利授权17个，较去年同期增加了54.55%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
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